SEMI S2認(rèn)證和遵守法規(guī)的途徑
對于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半導(dǎo)體制造設(shè)備的環(huán)境，健康和安全指南》。
實(shí)際上，其他產(chǎn)品安全準(zhǔn)則可以視為支持S2。面向職業(yè)健康和安全的指南通常與制造商無關(guān)。
SEMI S2認(rèn)證指南是由SEMI行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者制定的，以確保每臺設(shè)備都符合法規(guī)要求，并經(jīng)過嚴(yán)格的安全標(biāo)準(zhǔn)檢查。主要包括消防，電氣危險(xiǎn)防護(hù)，減輕機(jī)械危險(xiǎn)，化學(xué)，輻射，噪聲和人體工程學(xué)危險(xiǎn)，通風(fēng)要求，緊急停機(jī)程序，排氣規(guī)格，危險(xiǎn)警告警報(bào)和標(biāo)簽，文件要求等。
S2評估通常是買家作為保障的要求，并且可以作為出售的條件。
SEMI S2標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了半導(dǎo)體制造設(shè)備的環(huán)境、健康及安全條件，是一個(gè)綜合性的標(biāo)準(zhǔn)。代表了半導(dǎo)體廠家的基本安全要求，而半導(dǎo)體行業(yè)離不開特種氣體。
因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學(xué)品及電氣、廠務(wù)、游離及非游離的輻射，所以在設(shè)備廠商進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí)要引入SEMI S2標(biāo)準(zhǔn)，也即為EHS標(biāo)準(zhǔn)。這一點(diǎn)是非常重要的，如果處理不好，下游用戶在使用是時(shí)候就很容易導(dǎo)致事故甚至災(zāi)難。
SEMI S2認(rèn)證評估
在電氣/機(jī)械安全，化學(xué)暴露評估，通風(fēng)，噪聲，電離輻射，非電離輻射，激光，環(huán)境影響評估以及SEMI S2認(rèn)證指南要求的其他專業(yè)領(lǐng)域通常SEMI S2評估將需要以下評估以支持核心S2評估：
提供給用戶的文件
危險(xiǎn)警告標(biāo)簽
安全聯(lián)鎖系統(tǒng)
緊急關(guān)機(jī)
電氣設(shè)計(jì)
防火保護(hù)
加熱化學(xué)浴
人機(jī)工程學(xué)和人為因素
危險(xiǎn)能量隔離
機(jī)械設(shè)計(jì)
抗震保護(hù)
自動化物料搬運(yùn)員
環(huán)境考量
排氣通風(fēng)
化學(xué)制品
電離輻射
非電離輻射和場
鐳射 放射性物質(zhì)
聲壓等級
SEMI S2在認(rèn)證中綜合考慮了與設(shè)備相關(guān)的使用者文件、危險(xiǎn)性警告標(biāo)志、安全連鎖裝置、緊急停機(jī)、電氣安全、消防安全、人體工學(xué)、危險(xiǎn)能量隔離、機(jī)械設(shè)計(jì)安全、地震保護(hù)、自動機(jī)械設(shè)備、環(huán)境因素、排氣、噪音等內(nèi)容。以確保設(shè)備本身安全及對環(huán)境、對人員的安全性。